公元1世紀(jì)，亞歷山大的希羅記述的利用蒸汽反作用力而旋轉(zhuǎn)的汽轉(zhuǎn)球，又稱為風(fēng)神輪，是最早的反動式汽輪機(jī)的雛形。1629年，意大利的Gde布蘭卡提出由一股蒸汽沖擊葉片而旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)輪。1882年，瑞典的C.G.Pde拉瓦爾制成第一臺5馬力（3.67千瓦）的單級沖動式汽輪機(jī)。1884年，英國的C.A.帕森斯制成第一臺10馬力（7.35千瓦）的單級反動式汽輪機(jī)。1910年，瑞典的B.& F.容克斯川兄弟制成輻流的反動式汽輪機(jī)。

19世紀(jì)末，瑞典拉瓦爾和英國帕森斯分別創(chuàng)制了實用的汽輪機(jī)。拉瓦爾于1882年制成了第一臺5馬力（3.67千瓦）的單級沖動式汽輪機(jī)，并解決了有關(guān)的噴嘴設(shè)計和強(qiáng)度設(shè)計問題。單級沖動式汽輪機(jī)功率很小，已很少采用。

20世紀(jì)初，法國拉托和瑞士佐萊分別制造了多級沖動式汽輪機(jī)。多級結(jié)構(gòu)為增大汽輪機(jī)功率開拓了道路，已被廣泛采用，機(jī)組功率不斷增大。帕森斯在1884年取得英國專利，制成了第一臺10馬力的多級反動式汽輪機(jī)，這臺汽輪機(jī)的功率和效率在當(dāng)時都占領(lǐng)先地位。

20世紀(jì)初，美國的柯蒂斯制成多個速度級的汽輪機(jī)，每個速度級一般有兩列動葉，在第一列動葉后在汽缸上裝有導(dǎo)向葉片，將氣流導(dǎo)向第二列動葉。速度級的汽輪機(jī)只用于小型的汽輪機(jī)上，主要驅(qū)動泵、鼓風(fēng)機(jī)等，也常用作中小型多級汽輪機(jī)的第一級。